给晶体生长加工装备安上智慧“头脑”
今年年初,浙江省晶盛机电晶体生长装备企业研究院被浙江省科技厅新认定为省级企业研究院。
设在浙江晶盛机电股份有限公司内的研究院于2014年1月开始创建,计划建设期为2年半,计划总投资10500万元。建成后,研究院将拥有建筑面积1万平方米的研究实验室与研制车间以及办公室、6000万元先进的仪器设备;拥有近200位来自省内外的联合创新研究人员;研究院将成为拥有研究开发、检测试验、培训、办公、信息合作交流等功能的行业综合性研发基地。
晶体生长装备研究院定位于以工业4.0为背景,打造智能化晶体生长一体化装备的顶级研发平台。 2014年已完成省级重大科技专项1项,初步完成公司所承担的国家级重大科技02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”以及“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”2项子课题,省级以上项目3项。2014年至今,已新获国家授权专利39项,其中发明专利2项。
近年来,光伏、蓝宝石等行业的上、中游企业为降低成本和提高生产效率,需要引入更多的智能化加工设备。为了抓住该类设备市场发展机遇,晶盛公司在成功占领上游的全自动高端智能晶体生长装备领域90%市场的同时,又强势切入晶体中游加工市场的高端智能装备行业,以增强公司竞争力,丰富产品线,增加利润增长点。
该研究院主要包括晶盛晶体生长装备省级高新技术企业研发中心和慧翔电液晶体材料生长设备省级高新技术企业研发中心。研究院依托晶盛机电公司稳定而强大的科研创新团队,致力于硅晶体和蓝宝石晶体生长装备及其生长工艺的研发,并逐步拓展至晶体加工一体化、智能化装备的研发。研究院已研发的产品包括全自动单晶生长炉、高效多晶硅铸锭炉、区熔硅单晶生长炉、蓝宝石晶体生长炉,研究院持续的技术再创新,始终保持现有产品技术的国内领先、国际先进水平。同时,研究院以工业4.0为背景,进一步加快自动化、智能化晶体加工新产品的研发力度。去年,研发成功的国内首创全自动单晶硅棒切磨复合加工一体机装备,能一次定位完成切方、外圆磨、平面磨的复合加工,相比传统需要3台单体设备加工方式,提高近4倍工效,使每台一体机设备可节约2个员工;今年,研究院研发成功全自动单线晶棒截断机、全自动单线晶块截断机等系列国内首创新产品,可满足用户“机器换人”的迫切需求,不仅能提高加工质量和工效、节省人力、降低生产成本,还为“互联网+智能设备”的工业4.0概念,实现生产车间管理信息化、智能化、少人化远程监控与管理系统奠定智能单元基础,应用发展空间广阔。
本报记者锡小平
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